Le COPL possède des infrastructures en salles blanches qui lui permettent d’offrir des services en microfabrication aux chercheurs et aux entreprises. Alors que certains équipements standards sont mis à la disposition d’usagers externes, d’autres plus spécialisés sont opérés par des techniciens-experts dont la formation et l’expérience permettront à la clientèle de tirer pleinement profit de toutes les fonctionnalités disponibles. Contactez-nous pour une évaluation de la faisabilité de votre projet.
Infrastructures
Dépôt par centrifugation
- Tournettes pour dépôt par centrifugation (spincoating)
- Stations de nettoyage, gravure chimique et recuit thermique
Photolithographie
- Aligneur de masque pour exposition à 365 nm
- Résolution de 0.8 μm
Gravure ionique réactive
- 2 systèmes PlasmaTherm 790 pour quartz et chalcogénures
- Substrats de 50 à 200 mm
- Taux de gravure 20 nm/min
- Profondeur jusqu’à 1 μm
Exemples de réalisations
Microcircuits, surfaces conductrices et masques
Impression de formes et de m icro-circuits sur mesure sur des substrats en verre, en polymère et en silicium
Éléments diffractifs
Réseaux de diffraction ayant un pas et une profondeur ajustés à vos besoins